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多层电子束镀膜机
领用单位 0601:物理与信息技术学院
仪器编号 20061376
仪器名称 多层电子束镀膜机
规格型号 ZZSX-800K
生产厂家 北京北仪创新真空技术有限责任公司
购置日期 2006-12-01
学科领域 1.物理学; 2.材料科学
技术指标 1、极限压力:3?10-4Pa;2.恢复真空时间:从1?105Pa抽至3?10-3Pa≤20min。3.电子束蒸发源:(双枪单电源)270°e型电子枪2把。功率10kW,束流0-1A连续可调(功率连续可调),加速电压6kV和10kV两档可切换,Y方向偏
主要功能 由真空室、真空获得与测量系统、电器控制系统、270°e型电子束蒸发源、电阻蒸发源、管状加热器烘烤装置、PLC自动控制和膜厚控制仪、自动压强控制仪、质量流量控制器等组成。极限真空为3?10-4Pa。可用于制备导电薄膜
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