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纳米图像电子束曝光系统
领用单位 0608:现代光学研究室
仪器编号 1400444S
仪器名称 纳米图像电子束曝光系统
规格型号 Nova NanoSEM 450
生产厂家 FEI
购置日期 2014-11-25
学科领域 1.物理学; 2.材料科学
技术指标 分辨率:1 nm 元素分析范围:Be (4) -Am (95)
主要功能 表面形貌成像,元素含量半定量分析,纳米图像电子束曝光
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