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双室超高真空多功能磁控溅射设备
领用单位 0606:凝聚态与材料物理研究室
仪器编号 20130687
仪器名称 双室超高真空多功能磁控溅射设备
规格型号 MSP-3200A
生产厂家 北京创世威纳科技有限公司
购置日期 2012-12-24
学科领域 1.物理学; 2.材料科学
技术指标 背景真空度<10-5Pa
主要功能 物理沉积薄膜
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